Kristalline Solarzellen

PERC / Rückseiten-Kontaktöffnung

Der mit dem PV Award ausgezeichnete Hochgeschwindigkeits-Prozess von InnoLas, zur Herstellung von gestrichelten Linienöffnungen (dash pattern), erreicht vergleichbare Öffnungsverhältnisse wie mit Punktöffnungen (dot pattern). Verluste in Spannung und Füllfaktor, die durch ungenügend kontaktierte Punktöffnungen bedingt sind, werden vermieden. Ein optimiertes Dash Pattern erreicht höchste Zelleffizienzen bei einem Durchsatz von bis zu 4000 Wafer pro Stunde.

Laser Diffusion

Mittels Laserdotierung hergestellte selektive Emitter (LDSE) verbessern den Kontaktwiderstand und damit die Effizienz der Solarzellen bei vergleichsweise niedrigen Betriebskosten. Der InnoLas Laserprozess für LDSE erreicht durch ein speziell entwickeltes Maskenabbilungsverfahren, mit Laserstrahlgrößen von 100 µm bis 300 µm, eine extrem homogene Energieverteilung bei höchster Justiergenauigkeit von bis zu 10 µm und einem Durchsatz von bis zu 3600 Wafer pro Stunde.

Laserprozesse für Rückseitenkontakt-Solarzellen (IBC)

Für Laserprozesse auf IBCs ist eine sehr hohe Justiergenauigkeit, von 10 µm ohne Abweichungen des Laser-Musters, im Randbereich der Solarzelle erforderlich. Die hochgenaue Bildverarbeitungstechnologie gemeinsam mit speziellen Kalibrierstrategien von InnoLas ist hierfür im PV-Markt führend. InnoLas bietet für IBCs abgestimmte Laser-Prozesse für Kontaktöffnung mit minimalem Laserschaden oder lokale Dotierung an.

Zellschneiden

Der InnoLas Laserprozess für das direkte Spalten von Solarzellen ist das derzeit fortschrittlichste Verfahren zum Zellschneiden im Markt. InnoLas bietet hierfür sowohl ein vollautomatisches stand-alone System an als auch Inline-Lösungen zur Integration in die Siebdruck- oder Modullinie.

SiN Ablation

Um die hohen Kosten des Siebdrucks von Silber vermeiden zu können, muss die Metallisierung der Solarzellen künftig von Silber auf das erheblich billigere Kupfer umgestellt werden. Schon heute bietet InnoLas einen Laserablationsprozess an, der bei Durchsätzen von bis zu 3600 Wafer pro Stunde die SiN-Schicht auf der Vorderseite der Solarzellen ohne Schädigung der Textur öffnet, um nachfolgend eine perfekte galvanische Abscheidung der Metalle direkt auf das freigelegte Silizium zu ermöglichen.

LFC (Laser Fired Contacts) zur Folienmetallisierung

Für LFCs wird eine Aluminium-Folie auf die Rückseite der Solarzellen aufgelegt und mit einem Laser punktuell in das darunterliegende Silizium durch Bildung einer SiAl-Legierung eingefeuert. Anschließend wird die überstehende Folie um die Waferkanten herum mittels Laser ausgeschnitten. Diese FolMet genannte Technologie ist preiswerter als die klassische PERC-Technologie, da die Kosten für den rückseitigen Aluminium-Siebdruck eingespart werden.

Laser Kantenisolation

Der Laserprozess zur Kantenisolation von Solarzellen wurde bereits um das Jahr 2000 von InnoLas in den Markt eingeführt und war für viele Jahre ein Arbeitspferd in der Herstellung von Solarzellen. Später wurde er durch die leistungsstärkere naßchemische Kantenisolation weitgehend ersetzt, findet aber immer noch Einsatzmöglichkeiten, insbesondere im Bereich der bifazialen Solarzellen.

MWT / EWT (Laserbohren von Durchgangslöchern)

Für Solarzellen mit Durchgangskontakten (metal / emitter wrap through, MWT / EWT) werden vom Laser Löcher durch den gesamten Siliziumwafer gebohrt.

empfohlene Maschinentypen

ILS-TT | ILS-LT