ILS-TTnx

Die nächste Generation der InnoLas Solutions Drehtischmaschine

Die ILS-TTnx ist ein leistungsstarkes Lasersystem für hochpräzise Anwendungen in der Photovoltaikindustrie. Diese Maschinenplattform erzielt einen Durchsatz von 6000 Wafern pro Stunde bei höchster Genauigkeit in der industriellen Fertigung von Solarzellen. Anders als bei Lineartischanlagen werden bei dieser Drehtischanlage das Be- bzw. Entladen, sowie die Bildverarbeitung und Laserprozessierung parallel durchgeführt, wodurch die Produktivität erheblich gesteigert wird.

 

Ausstattung

  • zwei oder vier Prozessköpfe mit Galvanometer-Scannern
  • Automatische Kamerakalibrierung
  • Automatische Programme zur Anlagenreferenzierung
  • Automatische Prozesskontrolle
  • 3-,5- oder 8-Punkt Vision System zur Bauteilregistrierung und automatischen Korrektur
  • Stand-alone oder Inline Konfiguratione

Download Technische Daten

Technische Daten
Genauigkeit< +/- 35 µm (1 sigma)
< +/- 10 µm optional
< +/- 2 µm Wiederholbarkeit

Substrat
  Größe
  Dicke
  Material


bis zu 161 x 161 mm
> 100 µm
mono- oder polykristalline Silizium Substrate/
quadratisch oder pseudo quadratisch

LaserquellenWellenlänge: 1064, 1030, 532, 515, 355 nm
Pulsdauer: µs, ns, ps, fs
Laserspotgrößen10 - 300 µm
Größe2400 x 1600 x 2300 mm
Spannung260 - 480 V
Druckluft6 - 7 bar
Kühlwasser5 - 20 l/min
Durchsatz6000 Wafer pro Stunde
Optionen
  • CAD-Daten Konverter zum Importieren und Bearbeiten von Layouts
  • SQL Datenbank für Prozess- und Ereignisverfolgung
  • MES Schnittstelle (SECS GEM PV2)
  • Inline-Metrologie
  • Halbautomatisches Handling (F&E)
  • Vollautomatisches Handling (Produktion)
Anwendungen

Photovoltaik

    • Laser Contact Opening for PERC
    • Laser Doped Selective Emitter
    • Laser Direct Cleaving for half cells
    • Laser Contact Opening for Plating on Silicon