Der sogenannte Laser Contact Opening (LCO)-Prozess ist bei der Herstellung von IBC und PERC-Zellen ein wichtiger Schritt. Er erzeugt Kontaktöffnungen an der hinteren Passivierungsschicht durch Laserablation. Der Fokus liegt auf dem selektiven Entfernen von Passivierungsschichten über ein gestricheltes, Punkt- oder Linienmuster.
Typische Verfahren zum Öffnen der Rückseite der Zelle sind der mechanische Anreiß- oder der nasschemische Ätzprozess. Beide Verfahren sind hinsichtlich Geschwindigkeit und Abfall, Stichwort:
Hohe Verschmutzung beim Nass-Ätzen, nicht praktikabel.
Daher ist der Laserprozess ideal für das selektive, berührungslose Entfernen der Schicht.
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