Laser Contact Opening (LCO)
Der sogenannte Laser Contact Opening (LCO)-Prozess ist bei der Herstellung von IBC und PERC-Zellen ein wichtiger Schritt. Er erzeugt Kontaktöffnungen an der hinteren Passivierungsschicht durch Laserablation. Der Fokus liegt auf dem selektiven Entfernen von Passivierungsschichten über ein gestricheltes, Punkt- oder Linienmuster.
Typische Verfahren zum Öffnen der Zellenrückseite
Typische Verfahren zum Öffnen der Rückseite der Zelle sind der mechanische Anreiß- oder der nasschemische Ätzprozess. Beide Verfahren sind hinsichtlich Geschwindigkeit und Abfall, Stichwort:
Hohe Verschmutzung beim Nass-Ätzen, nicht praktikabel.
Daher ist der Laserprozess ideal für das selektive, berührungslose Entfernen der Schicht.
Vorteile des Laser Contact Openings
- Interdigitated Back Contact Solarzellen (IBC) weisen auf der Rückseite kammartig ineinander verschränkte Metallkontakte auf. Unter den Kontakten befinden sich ebenfalls ineinandergreifend die dotierten Emitter- und Back Surface Field-Bereiche.
- Die Herausforderungen in der Herstellung dieser Zellstruktur liegen in der genauen Definition der n+ und p+ dotierten Bereiche auf der Rückseite und der Vermeidung von Kurzschlüssen bei der separaten Kontaktierung beider Bereiche.
- Hochgenaue Laseranlagen der InnoLas Solutions erreichen die nötige Präzision der lokalen Kontaktöffnung (deutlich kleiner 10µm) bei maximalem Durchsatz bis zu 7.500 Wafern pro Stunde.
Empfohlener Maschinentyp: LUMION, ULTAGO
