Die nächste Generation von Laserbearbeitungssystemen für kristalline Solarzellen.
Die LUMION ist ein hochmodernes Lasersystem für die Bearbeitung kristalliner Solarzellen. Sie erreicht einen Durchsatz von bis zu 7.500 Wafern pro Stunde und wird in der industriellen Fertigung 24/7 eingesetzt. Die LUMION ist für verschiedene Anwendungen erhältlich, wie z.B. Laser Doped Selective Emitter (LDSE), Passivierte Rückseiten-Kontaktöffnung (LCO) und Laser Direct Cleaving- Cell Cutting (LDC).
Das System kann als eigenständiges System mit Be- und Entladeautomatik oder als integriertes Verarbeitungsmodul in bestehende Linien konfiguriert werden.
LUMION
Lasersystem für die Bearbeitung kristalliner Solarzellen
Leistungsvorteile
- Einfaches und wartungsfreundliches Design
- Dedizierte Lösung für die Bearbeitung von cSi-Solarzellen
- Durchsatz: Bis zu 7.500 Wafer pro Stunde
- Industrie 4.0-fähig
- Automatische Kamerakalibrierung
- Automatisiertes Vision-System für Präzisionsausrichtung und Skalierung, Offset-, Trapez- und Rotationskompensation
Optionen
- InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und Laserrezepterstellung
- Absaugsystem
- MES-Schnittstelle
- Automatische Fokuseinstellung
- Integrierte Prozessmesstechnik
Technische Daten
Optik
High Speed Scanner
Genauigkeit
<±25 μm
Wiederholgenauigkeit
<±20 μm
Substrategröße
M2 bis zu M12 (210 x 210 mm)
Dicke / Material
0.1 mm - 0.25 mm / kristalline Silizium Wafer
Bilderkennungssystem
InnoLas μVision
Software
Windows 10; IoT
Automatisierung
- Vollständig automatisiertes Stand Alone System
- Vollständig integrierbares Verarbeitungsmodul in bestehende Linien
Laserprozesse
- Zellschneiden (LDC)
- Laserablation (LCO)
- Lokale Dotierung (LDSE)