LINEXO

High Speed Lineartischmaschine

Die LINEXO ist ein Lasersystem für die Mikro-Materialbearbeitung, welches für hochpräzise Anwendungen in der Elektronik-, Halbleiter- und Photovoltaikindustrie, sowie in der Feinwerktechnik konzipiert wurde. Dieses Lasersystem wird häufig in der Forschung und Entwicklung sowie bei der Herstellung kleinerer Substrate wie z. B. keramischen Leiterplatten eingesetzt. 

Die Achsen der Maschine werden mit Linearmotoren angetrieben. Hohe Verfahrgeschwindigkeit, bei gleichzeitig sehr guter Dynamik der Achsen, sind das Resultat dieser Technologie. Die Genauigkeit und Präzision des Systems leiten sich von hochauflösenden Glasmaßstäben ab, die in jeder Achse als Messsystem eingesetzt werden. 

Leistungsvorteile

  •  Sehr flexibles Design mit höchstem Anpassungsgrad für verschiedene Anwendungen
  •  Flexibles Chuck-Design
  •  Hochpräzises und ultraschnelles Lasersystem 
  •  Industrie 4.0-fähig
  •  Automatische Kamerakalibrierung
  •  Automatisiertes Bildverarbeitungssystem für präzise Ausrichtung und Skalierung, Offset-, Trapez- und Rotationskompensation

Optionen

  • Bis zu 3 Laserquellen mit Strahlweichen integrierbar
  • InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und Laserrezepterstellung
  • Absaugsystem
  • MES-Schnittstelle
  • Automatische Fokuseinstellung
  • Integrierte Prozessmesstechnik
  • INFINITY Scan zur Vermeidung von Stitching-Fehlern bei gleichzeitiger Erh hung der Prozessgeschwindigkeit (gleichzeitige Achsen- und Scannerbewegung)

Technische Daten

Optik
Festoptik oder High Speed Scanner

Achsen
X-Y / Z

Genauigkeit
< ± 5 μm abs.

Wiederholgenauigkeit
< ± 2 μm

Substratgröße
457 mm x 610 mm

Material
Starre und flexible Leiterplatten, Keramik, Silizium, Metall

Bilderkennungssystem
InnoLas μVision

Software
Windows 10; IoT

Plattformtyp
Granitbasiert

Automatisierung

  • Voll- und halbautomatische Hochgeschwindigkeits InnoLas Automation
  • Kundenspezifische Automatisierungslösungen
  • Stand Alone System
  • SMEMA-kompatibel mit 3rd-Party-Automatisierung

Laserprozesse

  •  Laserbohren
  •  Laser-Nutzentrennen
  •  Laserritzen
  •  Laserablation
  •  Laserschmelzschneiden
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