Laser Contact Opening (LCO)

Der sogenannte Laser Contact Opening (LCO)-Prozess ist bei der Herstellung von IBC und PERC-Zellen ein wichtiger Schritt. Er erzeugt Kontaktöffnungen an der hinteren Passivierungsschicht durch Laserablation. Der Fokus liegt auf dem selektiven Entfernen von Passivierungsschichten über ein gestricheltes, Punkt- oder Linienmuster.

Typische Verfahren zum Öffnen der Zellenrückseite

Typische Verfahren zum Öffnen der Rückseite der Zelle sind der mechanische Anreiß- oder der nasschemische Ätzprozess. Beide Verfahren sind hinsichtlich Geschwindigkeit und Abfall, Stichwort:

Hohe Verschmutzung beim Nass-Ätzen, nicht praktikabel.
Daher ist der Laserprozess ideal für das selektive, berührungslose Entfernen der Schicht.

Vorteile des Laser Contact Openings

Interdigitated Back Contact Solarzellen (IBC) weisen auf der Rückseite kammartig ineinander verschränkte Metallkontakte auf. Unter den Kontakten befinden sich ebenfalls ineinandergreifend die dotierten Emitter- und Back Surface Field-Bereiche.
Die Herausforderungen in der Herstellung dieser Zellstruktur liegen in der genauen Definition der n+ und p+ dotierten Bereiche auf der Rückseite und der Vermeidung von Kurzschlüssen bei der separaten Kontaktierung beider Bereiche.
Hochgenaue Laseranlagen der InnoLas Solutions erreichen die nötige Präzision der lokalen Kontaktöffnung (deutlich kleiner 10µm) bei maximalem Durchsatz bis zu 7.500 Wafern pro Stunde.
Empfohlener Maschinentyp: LUMION, ULTAGO