ULTAGO NX

Drehtisch-Lasermaschine mit zwei Linien

Die ULTAGO NX ist ein leistungsstarkes Lasersystem für hochpräzise Anwendungen in der Photovoltaik- und Elektronikindustrie. Diese Maschinenplattform erzielt einen Durchsatz von 6000 Wafern pro Stunde bei höchster Genauigkeit in der industriellen Fertigung von Solarzellen. Anders als bei Lineartischanlagen werden bei dieser Drehtischanlage das Be- bzw. Entladen, sowie die Bildverarbeitung und Laserprozessierung parallel auf bis zu zwei Linien durchgeführt, wodurch die Produktivität erheblich gesteigert wird.

Leistungsvorteile

  • Gesamtgenauigkeit: 10 µm
  • Bis zu 6000 Wafer / Stunde
  • 3-,5- oder 8-Punkt Vision System zur Bauteilregistrierung und automatischen Korrektur
  • Indexiertisch für parallele Bearbeitung
  • Einzel-, Doppel- oder Vierfach-Scanner-Setup
  • Industrie 4.0-fähig
  • Automatische Kamera-Kalibrierung
  • Automatische Programme zur Anlagenreferenzierung
  • Automatisiertes Vision-System für Präzisionsausrichtung & Skalierung, Offset-, Trapez- & Rotationskompensation

Optionen

  • 4 Prozessköpfe (eine oder zwei Linien)
  • InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und -erstellung
  • Absaugsystem
  • MES-Schnittstelle
  • Automatische Fokuseinstellung
  • Integrierte Prozessmesstechnik
  • Hochpräzises Kalibriersystem

Technische Daten

Optik
High-Speed-Scanner

Genauigkeit
< ±5 µm

Wiederholgenauigkeit
< ±2 µm

Substrategröße
M2 bis zu M6 (166 x 166 mm)

Dicke/ Material
0.1 mm - 0.10 mm / kristalline Silizium Wafer, Keramik

Bilderkennungssystem
InnoLas μVision

Software
Windows 10 IoT

Plattform Typ
Granitbasiert

Automatisierung

  • Vollautomatische Hochgeschwindigkeitsautomation von InnoLas Solutions
  • Stand-alone- und produktionslinienintegrierte Systeme
  • Kundenspezifische Automatisierungslösungen
Sie interessieren sich für die ULTAGO NX und ihre Leistungsvorteile?

Ganz gleich ob Sie sich grundlegend beraten lassen möchten oder schon ganz genaue Vorstellungen haben – wir helfen Ihnen gerne weiter!

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