Die ULTAGO NX ist ein leistungsstarkes Lasersystem für hochpräzise Anwendungen in der Photovoltaik- und Elektronikindustrie. Diese Maschinenplattform erzielt einen Durchsatz von 6.000 Wafern pro Stunde bei höchster Genauigkeit in der industriellen Fertigung von Solarzellen. Anders als bei Lineartischanlagen werden bei dieser Drehtischanlage das Be- bzw. Entladen, sowie die Bildverarbeitung und Laserprozessierung parallel auf bis zu zwei Linien durchgeführt, wodurch die Produktivität erheblich gesteigert wird.
ULTAGO NX
Drehtisch-Lasermaschine mit zwei Linien
Leistungsvorteile
- Gesamtgenauigkeit: 10 µm
- Bis zu 6.000 Wafer / Stunde
- 3-,5- oder 8-Punkt Vision System zur Bauteilregistrierung und automatischen Korrektur
- Indexiertisch für parallele Bearbeitung
- Einzel-, Doppel- oder Vierfach-Scanner-Setup
- Industrie 4.0-fähig
- Automatische Kamerakalibrierung
- Automatische Programme zur Anlagenreferenzierung
- Automatisiertes Vision-System für Präzisionsausrichtung und Skalierung, Offset-, Trapez- und Rotationskompensation
Optionen
- 4 Prozessköpfe (eine oder zwei Linien)
- InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und Laserrezepterstellung
- Absaugsystem
- MES-Schnittstelle
- Automatische Fokuseinstellung
- Integrierte Prozessmesstechnik
- Hochpräzises Kalibriersystem
Technische Daten
Optik
High Speed Scanner
Genauigkeit
<±5 µm
Wiederholgenauigkeit
<±2 µm
Substrategröße
M2 bis zu M6 (166 x 166 mm)
Dicke / Material
0.1 mm - 0.10 mm / kristalline Silizium Wafer, Keramik
Bilderkennungssystem
InnoLas μVision
Software
Windows 10; IoT
Plattformtyp
Granitbasiert
Automatisierung
- Vollautomatische Hochgeschwindigkeits InnoLas Automation
- Stand Alone und produktionslinienintegrierte Systeme
- Kundenspezifische Automatisierungslösungen
Laserprozesse
- Laser Diffusion (LDSE)
- LFC (Laser Fired Contacts) zur Folienmetallisierung
- Laserprozesse für Rückseitenkontakt-Solarzellen (IBC)
- Rückseiten-Kontaktöffnung (PERC)