ULTAGO NX

Drehtisch-Lasermaschine mit zwei Linien

Die ULTAGO NX ist ein leistungsstarkes Lasersystem für hochpräzise Anwendungen in der Photovoltaik- und Elektronikindustrie. Diese Maschinenplattform erzielt einen Durchsatz von 6.000 Wafern pro Stunde bei höchster Genauigkeit in der industriellen Fertigung von Solarzellen. Anders als bei Lineartischanlagen werden bei dieser Drehtischanlage das Be- bzw. Entladen, sowie die Bildverarbeitung und Laserprozessierung parallel auf bis zu zwei Linien durchgeführt, wodurch die Produktivität erheblich gesteigert wird.

Leistungsvorteile

  • Gesamtgenauigkeit: 10 µm 
  • Bis zu 6.000 Wafer / Stunde 
  • 3-,5- oder 8-Punkt Vision System zur Bauteilregistrierung und automatischen Korrektur 
  • Indexiertisch für parallele Bearbeitung 
  • Einzel-, Doppel- oder Vierfach-Scanner-Setup 
  • Industrie 4.0-fähig 
  • Automatische Kamerakalibrierung 
  • Automatische Programme zur Anlagenreferenzierung  
  • Automatisiertes Vision-System für Präzisionsausrichtung und Skalierung, Offset-, Trapez- und Rotationskompensation 

Optionen

  • 4 Prozessköpfe (eine oder zwei Linien) 
  • InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und Laserrezepterstellung
  • Absaugsystem 
  • MES-Schnittstelle 
  • Automatische Fokuseinstellung 
  • Integrierte Prozessmesstechnik 
  • Hochpräzises Kalibriersystem 

Technische Daten

Optik
High Speed Scanner

Genauigkeit
<±5 µm

Wiederholgenauigkeit
<±2 µm

Substrategröße
M2 bis zu M6 (166 x 166 mm)

Dicke / Material
0.1 mm - 0.10 mm / kristalline Silizium Wafer, Keramik

Bilderkennungssystem
InnoLas μVision

Software
Windows 10; IoT

Plattformtyp
Granitbasiert

Automatisierung

  • Vollautomatische Hochgeschwindigkeits InnoLas Automation
  • Stand Alone und produktionslinienintegrierte Systeme
  • Kundenspezifische Automatisierungslösungen

Laserprozesse

  • Laser Diffusion (LDSE)
  • LFC (Laser Fired Contacts) zur Folienmetallisierung
  • Laserprozesse für Rückseitenkontakt-Solarzellen (IBC)
  • Rückseiten-Kontaktöffnung (PERC)
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