ULTAGO

Drehtisch-Lasermaschine

Die ULTAGO ist ein leistungsstarkes Lasersystem für hochpräzise Anwendungen in der Photovoltaik-, Halbleiter- und Elektronikindustrie. Diese Maschinenplattform erzielt hohen Durchsatz bei höchster Genauigkeit in der industriellen Fertigung von Solarzellen oder Keramiksubstraten. Anders als bei Lineartischanlagen werden bei dieser Drehtischanlage das Be- bzw. Entladen, sowie die Bildverarbeitung und Laserprozessierung parallel durchgeführt, wodurch die Produktivität erheblich gesteigert wird.

Leistungsvorteile

  • Gesamtgenauigkeit: 10 µm
  • Bis zu 4000 Wafer / Stunde
  • 3-,5- oder 8-Punkt Vision System zur Bauteilregistrierung und automatischen Korrektur
  • Indexiertisch für parallele Bearbeitung
  • Einzel-, Doppel-Scanner-Setup
  • Industrie 4.0-fähig
  • Automatische Kamerakalibrierung
  • Automatische Programme zur Anlagenreferenzierung
  • Automatisiertes Vision-System für Präzisionsausrichtung & Skalierung, Offset-, Trapez- & Rotationskompensation

Optionen

  • 4 Prozessköpfe (in einer Linie)
  • InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und -erstellung
  • Absaugsystem
  • MES-Schnittstelle
  • Automatische Fokuseinstellung
  • Integrierte Prozessmesstechnik
  • Hochpräzises Kalibriersystem

Technische Daten

Optik
High-Speed-Scanner

Genauigkeit
< ±5 µm

Wiederholgenauigkeit
< ±2 µm

Substrategröße
M2 bis zu M6 (166 x 166 mm)

Dicke / Material
0.1 mm - 0.10 mm / kristalline Silizium Wafer, Keramik

Bilderkennungssystem
InnoLas μVision

Software
Windows 10 IoT

Plattform Typ
Granitbasiert

Automatisierung

  • Vollautomatische Hochgeschwindigkeitsautomation von InnoLas Solutions
  • Stand-alone- und produktionslinienintegrierte Systeme
  • Kundenspezifische Automatisierungslösungen
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Ganz gleich ob Sie sich grundlegend beraten lassen möchten oder schon ganz genaue Vorstellungen haben – wir helfen Ihnen gerne weiter!

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