Die ULTAGO ist ein leistungsstarkes Lasersystem für hochpräzise Anwendungen in der Photovoltaik-, Halbleiter- und Elektronikindustrie. Diese Maschinenplattform erzielt hohen Durchsatz bei höchster Genauigkeit in der industriellen Fertigung von Solarzellen oder Keramiksubstraten. Anders als bei Lineartischanlagen werden bei dieser Drehtischanlage das Be- bzw. Entladen, sowie die Bildverarbeitung und Laserprozessierung parallel durchgeführt, wodurch die Produktivität erheblich gesteigert wird.
ULTAGO
Drehtisch-Lasermaschine
Leistungsvorteile
- Gesamtgenauigkeit: 10 µm
- Bis zu 4.000 Wafer / Stunde
- 3-,5- oder 8-Punkt Vision System zur Bauteilregistrierung und automatischen Korrektur
- Indexiertisch für parallele Bearbeitung
- Einzel-, Doppel-Scanner-Setup
- Industrie 4.0-fähig
- Automatische Kamerakalibrierung
- Automatische Programme zur Anlagenreferenzierung
- Automatisiertes Vision-System für Präzisionsausrichtung und Skalierung, Offset-, Trapez- und Rotationskompensation
Optionen
- 2 Prozessköpfe
- InnoLas Postprocessor für CAD-Datenübertragung, -bearbeitung und Laserrezepterstellung
- Absaugsystem
- MES-Schnittstelle
- Automatische Fokuseinstellung
- Integrierte Prozessmesstechnik
- Hochpräzises Kalibriersystem
Technische Daten
Optik
High Speed Scanner
Genauigkeit
<±5 µm
Wiederholgenauigkeit
<±2 µm
Substrategröße
M2 bis zu M6 (166 x 166 mm)
Dicke / Material
0.1 mm - 0.10 mm / kristalline Silizium Wafer, Keramik
Bilderkennungssystem
InnoLas μVision
Software
Windows 10; IoT
Plattformtyp
Granitbasiert
Automatisierung
- Vollautomatische Hochgeschwindigkeits InnoLas Automation
- Stand Alone und produktionslinienintegrierte Systeme
- Kundenspezifische Automatisierungsl sungen
Laserprozesse
- Laserbohren
- Laserritzen
- Laserschneiden
- Laserablation